Термообработка имплантированной нитридной керамики
| Parent link: | Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка: всесоюзная конференция/ Академия наук СССР (АН СССР), Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов; под ред. В. И. Зиненко. С. 161.— : [Б. и.], 1987 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Published: |
1987
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=226608 |