| Summary: | Рассмотрены основные вопросы создания системы поддержки принятия рациональных решений при проектировании сканеров зондовых микроскопов, имеющей существенное значение для автоматизации проектирования устройств и модулей электронного машино- и приборостроения, микро- и наноэлектронной техники. Предложенный подход позволяет принимать научно обоснованные, технически целесообразные, технологически и экономически выгодные решения с целью последующего совершенствования известных и создания новых сканирующих зондовых микроскопов и их элементной базы. Книга предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся информационными технологиями в проектировании объектов электронного машиностроения, в том числе проектированием сканеров для зондовых микроскопов и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению 210100 -«Электроника и наноэлектроника». |
|---|
