Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Черняев А. В. Александр Владимирович
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Москва, Радио и связь, 1990
Soggetti:	Галлий, арсенид Полупроводники > Физико-химические исследования Полупроводниковые приборы > Производство Легирование ионное > Технология ионы имплантация радиационные дефекты отжиг диоды транзисторы интегральные схемы оптоэлектроника
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=222793

Documenti analoghi