Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
| Main Author: | |
|---|---|
| Published: |
Москва, Радио и связь, 1990
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=222793 |