Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Черняев А. В. Александр Владимирович
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Радио и связь, 1990
Matèries:	Галлий, арсенид Полупроводники > Физико-химические исследования Полупроводниковые приборы > Производство Легирование ионное > Технология ионы имплантация радиационные дефекты отжиг диоды транзисторы интегральные схемы оптоэлектроника
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=222793

Ítems similars