Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Москва, Радио и связь, 1990
|
| Schlagworte: | |
| Format: | Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=222793 |
| Beschreibung: | 88 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5256007408 |