|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
222133 |
| 005 |
20231031195937.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\242316
|
| 090 |
|
|
|a 222133
|
| 100 |
|
|
|a 20120918d2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Протонный отжиг имплантированных арсенида галлия и кремния
|f М. В. Ардышев, В. Ф. Пичугин
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 4 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\73183
|t Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
|o труды IV Международной научной конференции, Томск, 12-19 августа 2004 г.
|f Российский фонд фундаментальных исследований; Томский политехнический университет и др.
|v С. 89-91
|d 2004
|p 519 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a арсенид галлия
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантированные атомы
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a облучение
|
| 610 |
1 |
|
|a протоны
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Ардышев
|b М. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Пичугин
|b В. Ф.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1944-
|g Владимир Федорович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120918
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130508
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
