Протонный отжиг имплантированных арсенида галлия и кремния
| Parent link: | Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2004.— С. 89-91 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
2004
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=222133 |