Влияние состава композиционного катода испарителя на эвалюцию твёрдости нитридных, синтезируемых в плазме дуговых разрядов низкого давления
| Parent link: | Современные техника и технологии: 13-я Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-30 марта 2007 г./ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2007 Т. 2.— 2007.— С. 139-141 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2007
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=220863 |