Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Румак Н. В. Николай Владимирович
Autor corporatiu:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Altres autors:	Хатько В. В. Вячеслав Владимирович (340), Борисенко В. Е.
Idioma:	rus
Publicat:	Минск, Навука i тэхнiка, 1990
Matèries:	твердотельная микроэлектроника диэлектрические пленки перенос термическое окисление тонкие пленки свойства пробой изолирующие слои пассивирующие слои
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=220716

Ítems similars

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
Publicat: (Ленинград, Наука, 1972)

Т. 3 : Тонкие диэлектрические пленки
Publicat: (1973)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
per: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Publicat: (Москва, Советское радио, 1980)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
per: Румак Н. В. Николай Владимирович
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1986)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Publicat: (2007)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
per: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1978)

Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур
Publicat: (2011)

Тонкие пленки Взаимная диффузия и реакции пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1982)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
per: Булычев А. А.
Publicat: (2003)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2018)

Электрические явления в тонких пленках Избранные главы из книги "Thin film phenomena" пер. с англ.
per: Чопра К. Л.
Publicat: (Москва, Мир, 1972)

Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники) материалы XIII Международной научно-технической конференции, Москва, 6-8 сентября 2007 г.
Publicat: (Москва, Изд-во ЦНИТИ Техномаш, 2007)

Введение в интегральную оптику [монография]
per: Гончаренко А. М. Андрей Маркович
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1975)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicat: (Томск, 2018)

Тонкие ферромагнитные пленки пер. с англ.
per: Праттон М.
Publicat: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
per: Королев М. А. Михаил Александрович
Publicat: (2009)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
per: Владимирова Л. Н.
Publicat: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Тонкие магнитные пленки пер. с англ., нем.
Publicat: (Киев, Государственное издательство технической литературы УССР, 1963)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура учебное пособие
per: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publicat: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
per: Булычева А. А.
Publicat: (2003)

Т. 3: Электронные пучки в диагностике твердого тела
Publicat: (1990)

Компоненты МОП-интегральных микросхем
per: Румак Н. В. Николай Владимирович
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1991)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение монография
Publicat: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига
per: Лязгин А. О.
Publicat: (2010)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1983)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
per: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Publicat: (Томск, 2024)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники пер. с англ.
per: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Publicat: (Москва, Металлургия, 1980)

Диэлектрические пленки для ИС
per: Саркаров Т. Э.
Publicat: (Махачкала, ДГТУ, 2021)

Поверхностные силы в тонких пленках и дисперсных системах сборник докладов IV конференции по поверхностным силам, Москва, 1969 г.
Publicat: (Москва, Наука, 1972)

Нитевидные кристаллы и тонкие пленки. Ч. 2: Тонкие пленки материалы II Всесоюзной научной конференции, Воронеж, июнь 1974
Publicat: (Воронеж, [Б. и.], 1975)

The Effect of Contact Angle on Dynamics of Dry Spots Spreading in a Horizontal Layer of Liquid at Local Heating
Publicat: (2015)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron
per: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Publicat: (2015)

Тонкие пленки, их изготовление и измерение пер. с нем.
per: Метфессель С.
Publicat: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)

Вопросы пленочной электроники сборник статей
Publicat: (Москва, Советское радио, 1966)

Неорганические диэлектрики в электронной технике сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Диэлектрические свойства пленок полимерных композитов с сегнетоэлектрическим наполнителем
Publicat: (2004)

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
per: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publicat: (Москва, Техносфера, 2006)

Тонкие пленки и их применение материалы I республиканской конференции
Publicat: (Вильнюс, [Б. и.], 1968)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
per: Патрушева Т. Н.
Publicat: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)