Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author:	Румак Н. В. Николай Владимирович
Corporate Author:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Other Authors:	Хатько В. В. Вячеслав Владимирович (редактор), Борисенко В. Е.
Language:	Russian
Published:	Минск, Навука i тэхнiка, 1990
Subjects:	твердотельная микроэлектроника диэлектрические пленки перенос термическое окисление тонкие пленки свойства пробой изолирующие слои пассивирующие слои
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=220716

Similar Items

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
Published: (Ленинград, Наука, 1972)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
by: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Published: (Москва, Советское радио, 1980)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Наука и техника, 1986)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Published: (2007)

Сегнетоэлектрические пленки сложных окислов металлов
by: Томашпольский Ю. Я. Юрий Яковлевич
Published: (Москва, Металлургия, 1978)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
by: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1978)

Т. 3 : Тонкие диэлектрические пленки; Физика диэлектриков и перспективы ее развития
Published: (1973)

Полупроводниковые пленки и слоистые структуры
Published: (Киев, Наукова думка, 1977)

Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII Международной научно-технической конференции, Москва, 6-8 сентября 2007 г.; Тонкие пленки в электронике
Published: (Москва, Изд-во ЦНИТИ Техномаш, 2007)

Тонкие пленки; Взаимная диффузия и реакции: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1982)

Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
Published: (2011)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск
by: Булычев А. А.
Published: (2003)

Введение в интегральную оптику: [монография]
by: Гончаренко А. М. Андрей Маркович
Published: (Минск, Наука и техника, 1975)

Полевые транзисторы; Физика, технология и применения: пер. с англ.
Published: (Москва, Советское радио, 1971)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Электрические явления в тонких пленках: Избранные главы из книги "Thin film phenomena"; пер. с англ.
by: Чопра К. Л.
Published: (Москва, Мир, 1972)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
by: Королев М. А. Михаил Александрович
Published: (2009)

Тонкие ферромагнитные пленки: пер. с англ.
by: Праттон М.
Published: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Основы анализа поверхности и тонких пленок: пер. с англ.
by: Фелдман Л. Леонард
Published: (Москва, Мир, 1989)

Диэлектрические пленки для ИС
by: Саркаров Т. Э.
Published: (Махачкала, ДГТУ, 2021)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
by: Булычева А. А.
Published: (2003)

Технология микроэлектронных устройств: справочник
by: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1991)

Тонкие пленки и многослойные материалы для электроники: учебное пособие
by: Панин А. В. Алексей Викторович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)

Т. 3: Электронные пучки в диагностике твердого тела; Пучки заряженных частиц и твердое тело
Published: (1990)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение: монография
Published: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы X Международной научно-технической конференции, Москва, 9-11 сентября 2004 г.; Тонкие пленки в электронике
Published: (Москва, Изд-во ЦНИТИ Техномаш, 2004)

Тонкие магнитные пленки: пер. с англ., нем.
Published: (Киев, Государственное издательство технической литературы УССР, 1963)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Лязгин А. О.
Published: (2010)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1983)

Компоненты МОП-интегральных микросхем
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Наука и техника, 1991)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Published: (Томск, 2024)

Поверхностные силы в тонких пленках и дисперсных системах: сборник докладов IV конференции по поверхностным силам, Москва, 1969 г.
Published: (Москва, Наука, 1972)

The Effect of Contact Angle on Dynamics of Dry Spots Spreading in a Horizontal Layer of Liquid at Local Heating; MATEC Web of Conferences; Vol. 37 : Smart Grids 2015
Published: (2015)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
by: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Published: (2015)

VII конференция по поверхностным силам, 24-26 нояб. 1980 г., Москва: тезисы докладов
Published: (Москва, Наука, 1980)

Тонкие пленки, их изготовление и измерение: пер. с нем.
by: Метфессель С.
Published: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)