Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Румак Н. В. Николай Владимирович
Müşterek Yazar:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Diğer Yazarlar:	Хатько В. В. Вячеслав Владимирович (редактор), Борисенко В. Е.
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	Минск, Навука i тэхнiка, 1990
Konular:	твердотельная микроэлектроника диэлектрические пленки перенос термическое окисление тонкие пленки свойства пробой изолирующие слои пассивирующие слои
Materyal Türü:	Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=220716

Benzer Materyaller