Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author: Румак Н. В. Николай Владимирович
Corporate Author: Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Other Authors: Хатько В. В. Вячеслав Владимирович (340), Борисенко В. Е.
Published: Минск, Навука i тэхнiка, 1990
Subjects:
твердотельная микроэлектроника
диэлектрические пленки
перенос
термическое окисление
тонкие пленки
свойства
пробой
изолирующие слои
пассивирующие слои
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=220716

Similar Items