|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
220716 |
| 005 |
20231031195454.0 |
| 010 |
|
|
|a 5343005403
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\240848
|
| 090 |
|
|
|a 220716
|
| 100 |
|
|
|a 20120829d1990 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
|f Н. В. Румак, В. В. Хатько
|g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Физико-технический институт (ФТИ); под ред. В. Е. Борисенко
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Навука i тэхнiка
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 192 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 181-189.
|
| 610 |
1 |
|
|a твердотельная микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a перенос
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a пробой
|
| 610 |
1 |
|
|a изолирующие слои
|
| 610 |
1 |
|
|a пассивирующие слои
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.774
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Румак
|b Н. В.
|g Николай Владимирович
|
| 701 |
|
1 |
|a Хатько
|b В. В.
|g Вячеслав Владимирович
|
| 702 |
|
1 |
|a Борисенко
|b В. Е.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|c (Минск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12058
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120829
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130910
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
