Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia:	Румак Н. В. Николай Владимирович
Erakunde egilea:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Beste egile batzuk:	Хатько В. В. Вячеслав Владимирович (редактор), Борисенко В. Е.
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:	Минск, Навука i тэхнiка, 1990
Gaiak:	твердотельная микроэлектроника диэлектрические пленки перенос термическое окисление тонкие пленки свойства пробой изолирующие слои пассивирующие слои
Formatua:	Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=220716

Deskribapena
Deskribapen fisikoa:	192 с. ил.
ISBN:	5343005403

Antzeko izenburuak