Нитрид кремния в электронике

Нитрид кремния в электронике

Detalles Bibliográficos
Corporate Authors:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Outros autores:	Белый В. И. Вячеслав Иванович (редактор), Васильева Л. Л. Людмила Львовна, Гриценко В. А. Владимир Алексеевич, Гиновкер А. С. Андрей Самсонович, Репинский С. М. Сергей Маркович, Ржанов А. В. Анатолий Васильевич
Idioma:	ruso
Publicado:	Новосибирск, Наука, 1982
Subjects:	электроника нитрид кремния интегральные схемы синтез состав структура характеристика физико-химические процессы оптические свойства электрофизические свойства
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=218238

Títulos similares

Нитрид кремния и материалы на его основе
por: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
Publicado: (Москва, Металлургия, 1984)

Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах
por: Гриценко В. А. Владимир Алексеевич
Publicado: (Новосибирск, Наука, 1993)

Структура компонентов БИС
por: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
Publicado: (Новосибирск, Наука, 1980)

Синтез сиалона в поле низкотемпературной плазмы с использованием нитридов кремния и алюминия, и технология композитов на его основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 2.6.14
por: Безухов К. А. Константин Александрович
Publicado: (Томск, 2024)

Синтез сиалона в поле низкотемпературной плазмы с использованием нитридов кремния и алюминия, и технология композитов на его основе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 2.6.14
por: Безухов К. А. Константин Александрович
Publicado: (Томск, 2024)

Синтез сиалона в поле низкотемпературной плазмы с использованием нитридов кремния и алюминия, и технология композитов на его основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 2.6.14
por: Безухов К. А. Константин Александрович
Publicado: (Томск, 2024)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
por: Смирнова К. И.
Publicado: (Томск, 1971)

Возможность получения карбида кремния плазмодинамическим синтезом в системе SI-C-N-O; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2018)
por: Насырбаев А. Артур
Publicado: (2018)

Технология получения керамических композиций на основе нитрида кремния методом СВС: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
por: Витушкина О. Г. Ольга Геннадьевна
Publicado: (Томск, 2009)

Технология получения керамических композиций на основе нитрида кремния методом СВС: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
por: Витушкина О. Г. Ольга Геннадьевна
Publicado: (Томск, 2009)

Технология получения керамических композиций на основе нитрида кремния методом СВС: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
por: Витушкина О. Г. Ольга Геннадьевна
Publicado: (Томск, 2009)

Карбид кремния. (Строение, свойства и области применения): [сборник]
Publicado: (Киев, Наукова думка, 1966)

Влияние состава смеси ферросиликоалюминия с маршалитом на выход β-SiAlON при азотировании в режиме горения; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
por: Регер А. А.
Publicado: (2021)

Т. 1; Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов. Электронная структура и свойства полупроводников
Publicado: (2004)

Неметаллические тугоплавкие соединения
Publicado: (Москва, Металлургия, 1985)

Особенности горения ферросилиция в азоте; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Болгару К. А.
Publicado: (2010)

Глубокое окисление метана на платиновых и палладиевых катализаторах, нанесенных на нитрид кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 4
por: Курзина И. А.
Publicado: (2005)

Способ получения порошка, содержащего карбид кремния и нитрид алюминия, из золы природного угля
Publicado: ()

Высокотемпературное газостатическое уплотнение нитрида кремния
por: Крыль Я. А. Ярослав Антонович
Publicado: (Киев, Наукова думка, 1993)

Влияние добавки [alpha]-Si[3]N[4] на свойства композиционного материала, получаемого в системе AlN - [beta]-Si[3]N[4]; Химия и химическая технология в XXI веке
por: Орехов А. С.
Publicado: (2020)

Самораспространяющийся высокотемпературный синтез композиционного керамического порошка на основе нитрида кремния и диоксида циркония; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Ленчукова Т. В.
Publicado: (2008)

Оценка влияния модифицирующих добавок на свойства нитрид алюминиевой керамики, полученной по технологии искрового плазменного спекания; Электромеханические преобразователи энергии
por: Черевко В. В.
Publicado: (2015)

Использование окислов РЗМ в пленочной электронике
Publicado: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1969)

Материаловедение: учебное пособие
por: Апасов А. М. Александр Михайлович
Publicado: (Томск, Изд-во ТПУ, 2005)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
por: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2006)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
por: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2006)

Влияние температурного режима спекания на структуру керамики на основе нитрида кремния и нитрида алюминия; Химия и химическая технология в XXI веке
por: Орехов А. С.
Publicado: (2019)

Бориды алюминия
Publicado: (Киев, Наукова думка, 1990)

Химия кремния и его несиликатных соединений
por: Савельев В. Г. Владимир Григорьевич
Publicado: (Москва, Изд-во МХТИ, 1985)

Получение композиционного карбид-, нитридкремниевого (Si[3]N[4]-SiC) материала методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза; Современные техника и технологии; Т. 1
por: Рыгин А. В.
Publicado: ()

Получение керамических материалов триботехнического назначения на основе нитрида кремния; Химия и химическая технология в XXI веке
por: Беляченков И. О.
Publicado: (2018)

Полупроводниковые халькогениды таллия
por: Каримов С. К. Самаритдин Каримович
Publicado: (Москва, Металлургия, 1982)

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
por: Акципетров О. А.
Publicado: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
por: Румак Н. В. Николай Владимирович
Publicado: (Минск, Наука и техника, 1986)

Электроника на основе нитрида галлия: пер. с англ.
por: Куэй Р. Рюдигер
Publicado: (Москва, Техносфера, 2011)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
por: Васильев В. Ю.
Publicado: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
por: Родионов Ю. А.
Publicado: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2
por: Зайцев Н. А. Николай Алексеевич
Publicado: (Москва, Радио и связь, 1993)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
Publicado: (2009)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
por: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2006)