Нитрид кремния в электронике

Нитрид кремния в электронике

Bibliographic Details
Corporate Authors:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Other Authors:	Белый В. И. Вячеслав Иванович (340), Васильева Л. Л. Людмила Львовна, Гриценко В. А. Владимир Алексеевич, Гиновкер А. С. Андрей Самсонович, Репинский С. М. Сергей Маркович, Ржанов А. В. Анатолий Васильевич
Published:	Новосибирск, Наука, 1982
Subjects:	электроника нитрид кремния интегральные схемы синтез состав структура характеристика физико-химические процессы оптические свойства электрофизические свойства
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=218238

Similar Items

Нитрид кремния и материалы на его основе
by: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
Published: (Москва, Металлургия, 1984)

Структура компонентов БИС
by: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
Published: (Новосибирск, Наука, 1980)

Синтез сиалона в поле низкотемпературной плазмы с использованием нитридов кремния и алюминия, и технология композитов на его основе автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 2.6.14
by: Безухов К. А. Константин Александрович
Published: (Томск, 2024)

Синтез сиалона в поле низкотемпературной плазмы с использованием нитридов кремния и алюминия, и технология композитов на его основе диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 2.6.14
by: Безухов К. А. Константин Александрович
Published: (Томск, 2024)

Синтез сиалона в поле низкотемпературной плазмы с использованием нитридов кремния и алюминия, и технология композитов на его основе автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 2.6.14
by: Безухов К. А. Константин Александрович
Published: (Томск, 2024)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Смирнова К. И.
Published: (Томск, 1971)

Возможность получения карбида кремния плазмодинамическим синтезом в системе SI-C-N-O
by: Насырбаев А. Артур
Published: (2018)

Технология получения керамических композиций на основе нитрида кремния методом СВС диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.11
by: Витушкина О. Г. Ольга Геннадьевна
Published: (Томск, 2009)

Технология получения керамических композиций на основе нитрида кремния методом СВС автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.11
by: Витушкина О. Г. Ольга Геннадьевна
Published: (Томск, 2009)

Технология получения керамических композиций на основе нитрида кремния методом СВС автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.11
by: Витушкина О. Г. Ольга Геннадьевна
Published: (Томск, 2009)

Карбид кремния. (Строение, свойства и области применения) [сборник]
Published: (Киев, Наукова думка, 1966)

Глубокое окисление метана на платиновых и палладиевых катализаторах, нанесенных на нитрид кремния
by: Курзина И. А.
Published: (2005)

Влияние состава смеси ферросиликоалюминия с маршалитом на выход β-SiAlON при азотировании в режиме горения
by: Регер А. А.
Published: (2021)

Т. 1
Published: (2004)

Неметаллические тугоплавкие соединения
Published: (Москва, Металлургия, 1985)

Особенности горения ферросилиция в азоте
by: Болгару К. А.
Published: (2010)

Материаловедение учебное пособие
by: Апасов А. М. Александр Михайлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2005)

Влияние добавки [alpha]-Si[3]N[4] на свойства композиционного материала, получаемого в системе AlN - [beta]-Si[3]N[4]
by: Орехов А. С.
Published: (2020)

Использование окислов РЗМ в пленочной электронике
Published: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1969)

Самораспространяющийся высокотемпературный синтез композиционного керамического порошка на основе нитрида кремния и диоксида циркония
by: Ленчукова Т. В.
Published: (2008)

Бориды алюминия
Published: (Киев, Наукова думка, 1990)

Полупроводниковые халькогениды таллия
by: Каримов С. К. Самаритдин Каримович
Published: (Москва, Металлургия, 1982)

Получение композиционного карбид-, нитридкремниевого (Si[3]N[4]-SiC) материала методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза
by: Рыгин А. В.
Published: ()

Получение керамических материалов триботехнического назначения на основе нитрида кремния
by: Беляченков И. О.
Published: (2018)

Влияние температурного режима спекания на структуру керамики на основе нитрида кремния и нитрида алюминия
by: Орехов А. С.
Published: (2019)

Оценка влияния модифицирующих добавок на свойства нитрид алюминиевой керамики, полученной по технологии искрового плазменного спекания
by: Черевко В. В.
Published: (2015)

Электроника на основе нитрида галлия пер. с англ.
by: Куэй Р. Рюдигер
Published: (Москва, Техносфера, 2011)

Способ получения порошка, содержащего карбид кремния и нитрид алюминия, из золы природного угля
Published: ()

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
by: Акципетров О. А.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Химия кремния и его несиликатных соединений
by: Савельев В. Г. Владимир Григорьевич
Published: (Москва, Изд-во МХТИ, 1985)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
by: Васильев В. Ю.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Наука и техника, 1986)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
Published: (2009)

Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник
by: Литовченко В. Г. Владимир Григорьевич
Published: (Киев, Наукова думка, 1978)

Полупроводниковые соединения АI2 ВVI
by: Горбачев В. В. Владимир Васильевич
Published: (Москва, Металлургия, 1980)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Исследование структуры и физико-механических свойств керамики на основе оксидов алюминия и кремния
by: Ли Кунь
Published: (2017)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния
by: Петраков Ю. В.
Published: (2017)

Нитрид алюминия, легированный переходными металлами, в качестве материала для спинтроники
Published: (2020)