Нитрид кремния в электронике

Bibliographic Details
Corporate Authors:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Other Authors:	Белый В. И. Вячеслав Иванович (340), Васильева Л. Л. Людмила Львовна, Гриценко В. А. Владимир Алексеевич, Гиновкер А. С. Андрей Самсонович, Репинский С. М. Сергей Маркович, Ржанов А. В. Анатолий Васильевич
Published:	Новосибирск, Наука, 1982
Subjects:	электроника нитрид кремния интегральные схемы синтез состав структура характеристика физико-химические процессы оптические свойства электрофизические свойства
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=218238

Similar Items