|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
218238 |
| 005 |
20231031194834.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-23711
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\238254
|
| 090 |
|
|
|a 218238
|
| 100 |
|
|
|a 20120618d1982 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Нитрид кремния в электронике
|f В. И. Белый [и др.]
|g Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП); Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ); под ред. А. В. Ржанова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 200 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 186-198.
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a состав
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a характеристика
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Белый
|b В. И.
|g Вячеслав Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Васильева
|b Л. Л.
|g Людмила Львовна
|
| 701 |
|
1 |
|a Гриценко
|b В. А.
|g Владимир Алексеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Гиновкер
|b А. С.
|g Андрей Самсонович
|
| 701 |
|
1 |
|a Репинский
|b С. М.
|g Сергей Маркович
|
| 702 |
|
1 |
|a Ржанов
|b А. В.
|g Анатолий Васильевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт физики полупроводников (ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12178
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120618
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160329
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
