Нитрид кремния в электронике

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Altres autors:	Белый В. И. Вячеслав Иванович (редактор), Васильева Л. Л. Людмила Львовна, Гриценко В. А. Владимир Алексеевич, Гиновкер А. С. Андрей Самсонович, Репинский С. М. Сергей Маркович, Ржанов А. В. Анатолий Васильевич
Idioma:	rus
Publicat:	Новосибирск, Наука, 1982
Matèries:	электроника нитрид кремния интегральные схемы синтез состав структура характеристика физико-химические процессы оптические свойства электрофизические свойства
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=218238

Descripció
Descripció física:	200 с. ил.

Ítems similars