Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ), Белый В. И. Вячеслав Иванович, Васильева Л. Л. Людмила Львовна, Гриценко В. А. Владимир Алексеевич, Гиновкер А. С. Андрей Самсонович, . . . Ржанов А. В. Анатолий Васильевич. (1982). Нитрид кремния в электронике. Новосибирск, Наука, 1982.
Chicago Style (17th ed.) CitationАкадемия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ), Белый В. И. Вячеслав Иванович, Васильева Л. Л. Людмила Львовна, Гриценко В. А. Владимир Алексеевич, Гиновкер А. С. Андрей Самсонович, Репинский С. М. Сергей Маркович, and Ржанов А. В. Анатолий Васильевич. Нитрид кремния в электронике. Новосибирск, Наука, 1982, 1982.
MLA (9th ed.) CitationАкадемия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), et al. Нитрид кремния в электронике. Новосибирск, Наука, 1982, 1982.