Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена

Bibliografiset tiedot
Parent link:Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000-
Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2012.— [С. 140-144]
Päätekijä: Цивинская Ю. С.
Muut tekijät: Попов В. Н.
Yhteenveto:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
С использованием численного моделирования исследовано распределение некогерентных примесей в расплаве при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена. Анализировалось влияние азимутально-неоднородного нагрева боковой стенки тигля на распределение вытесняемого вещества вблизи фронта кристаллизации. Процессы рассматривались в диапазоне параметров, соответствующих реальным температурам в ростовой печи и расплаве, размерам и форме тигля. Из полученных результатов следует, что неоднородный разогрев расплава изменяет структуру конвективных течений, которые в случаях плоского или выпуклого фронтов кристаллизации способствуют оттеснению растворенной примеси к стенкам тигля.
Kieli:venäjä
Julkaistu: 2012
Sarja:Математика и механика. Физика
Aiheet:
Linkit:http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4142/1/bulletin_tpu-2012-320-2-30.pdf
Aineistotyyppi: Elektroninen Kirjan osa
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=214130
Kuvaus
Ulkoasu:1 файл (694 Кб)
Yhteenveto:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
С использованием численного моделирования исследовано распределение некогерентных примесей в расплаве при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена. Анализировалось влияние азимутально-неоднородного нагрева боковой стенки тигля на распределение вытесняемого вещества вблизи фронта кристаллизации. Процессы рассматривались в диапазоне параметров, соответствующих реальным температурам в ростовой печи и расплаве, размерам и форме тигля. Из полученных результатов следует, что неоднородный разогрев расплава изменяет структуру конвективных течений, которые в случаях плоского или выпуклого фронтов кристаллизации способствуют оттеснению растворенной примеси к стенкам тигля.