Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2012.— [С. 140-144] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации С использованием численного моделирования исследовано распределение некогерентных примесей в расплаве при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена. Анализировалось влияние азимутально-неоднородного нагрева боковой стенки тигля на распределение вытесняемого вещества вблизи фронта кристаллизации. Процессы рассматривались в диапазоне параметров, соответствующих реальным температурам в ростовой печи и расплаве, размерам и форме тигля. Из полученных результатов следует, что неоднородный разогрев расплава изменяет структуру конвективных течений, которые в случаях плоского или выпуклого фронтов кристаллизации способствуют оттеснению растворенной примеси к стенкам тигля. |
| Published: |
2012
|
| Series: | Математика и механика. Физика |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4142/1/bulletin_tpu-2012-320-2-30.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=214130 |