| Summary: | В монографии рассмотрены критерии и требования к нанотехнике, применяемой в технологиях машиностроения. Сформулированы задачи, которые могут быть решены в машиностроении путем использования нанотехники. Приведен анализ возможностей использования вакуумных ионных, электронных и плазменных методов обработки для решения указанных задач. Приводятся технические решения в области наномеханической обработки. Предназначена для научных и инженерно-технических работников предприятий. Может быть полезна студентам старших курсов технических университетов |