Техническая механика микросистем, учебное пособие

Bibliographic Details
Corporate Author: Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
Other Authors: Тимофеев В. Н. (340), Погалов А. И., Угольников С. В., Андрианов А. М., Панкратов О. В.
Summary:Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Published: Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011
Edition:2-е изд.
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=206218