Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления

Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2011.— [С. 103-108]
Other Authors:	Сергеев В. П. Виктор Петрович, Федорищева М. В., Сунгатулин А. Р., Никалин А. Ю., Нейфельд В. В.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость.
Published:	2011
Series:	Математика и механика. Физика
Subjects:	магнетронное осаждение ионная бомбардировка покрытия нитриды кремний алюминий термостойкость фазовый состав термомеханические свойства атомно-силовая микроскопия рентгеноструктурный анализ термоциклическая стойкость труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=203202

Similar Items

Увеличение термоциклической стойкости покрытий на основе Zr-Y-O, полученных методом магнетронного осаждения
Published: (2010)

Нанесение керамических покрытий с заданными физико-механическими свойствами методом электронно-лучевого испарения
Published: (2017)

Влияние обработки ионами Ti+ поверхности медной подложки на адгезию и термоциклическую стойкость покрытий SI-AL-N
Published: (2013)

Влияние обработки ионами Ti+ поверхности медной подложки на адгезию и термоциклическую стойкость покрытий SI-AL-N
Published: (2013)

Modification of Ti-Al-N Coatings by High Energy (Cr{+}+B{+}) Ion Bombardment
Published: (2016)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2022)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering
by: An V. V. Vladimir Vilorievich
Published: (2015)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Published: (2016)

Effect of Structure and Phase Composition on Thermocyclic Stability of Thermo-Barrier Coatings Zr-O Deposited by Microplasma Method on a Copper Substrate
Published: (2018)

Термомеханические напряжения в переходной зоне никелида титана с покрытием из кремния или тантала
by: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Published: (2019)

Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней
Published: (2012)

Влияние бомбардировки ионами N и Ar на морфологию поверхности, механические свойства и стойкость к окислению покрытий TI-AL-N
Published: (2017)

Электрический потенциал и топография поверхности кальций-фосфатного покрытия, полученного в плазме ВЧ-разряда
Published: (2020)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Published: (2013)

Наблюдение эффекта Мессбауэра в чистом железе в ходе ионной бомбардировки
by: Овчинников В. В.
Published: (2011)

Т. 2
Published: (1995)

Т. 1
Published: (1995)

Защитные покрытия ZrYO/AlSiN
by: Ван Синьсинь
Published: (2021)

Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B
Published: (2012)

Разработка режимов изготовления порошковых катодов и технология нанесения ионно-плазменных покрытий Заключительный отчет о НИР Тема: х/д 4-29/86
Published: (Томск, 1987)

Deposition of Polycrystalline Diamond Films with a Controlled Grain Size by Periodic Secondary Nucleation
by: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Published: (2016)

Повышение износостойкости гальванических покрытий Au-Ni путем ионной бомбардировки
Published: (2015)

Т. 1
Published: (2003)

Термомеханические свойства алюмосиликатных огнеупоров
by: Келер Э. К.
Published: (Ленинград, Металлургиздат, 1949)

Thermal Stability of TiZrAlN and TiZrSiN Films Formed by Reactive Magnetron Sputtering
Published: (2018)

Получение тонкопленочных элементов микросхем
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1977)

Моделирование процесса имплантации ионов Al + и B + в покрытие TIN, осажденное на стальную подложку
by: Крюкова О. Н. Ольга Николаевна
Published: (2013)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.4.4
by: Буслович А. О. Александра Олеговна
Published: (Томск, 2022)

Исследование структуры СВС-пресованных катодов для нанесения износостойких покрытий
by: Дурницын К. С.
Published: (2010)

Modification of Electric Properties of Lithium Niobate Crystals by Ion Bombardment
Published: (2004)

Нанесение износостойких покрытий на быстрорежущий инструмент
Published: (Киев, Тэхника, 1992)

Влияние локальной кривизны границы раздела "покрытие-подложка" на деформацию и разрушение керамических покрытий при одноосном растяжении
by: Шугуров А. Р. Артур Рубинович
Published: (2016)

Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия
by: Иванова Е. С.
Published: (2013)

Термомеханические соединения (ТМС) трубопроводов. Общие понятия и принципы подбора элементов
by: Хохлов В. А. Владимир Александрович
Published: (2009)

Получение адсорбента на основе гамма-оксида алюминия методом вакуумного распыления
by: Хрусталева К. В. Ксения Виктровна
Published: (2020)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.4.4
by: Буслович А. О. Александра Олеговна
Published: (Томск, 2022)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием
by: Осипова Е. С.
Published: (2023)

Исследование реакции тромбоцитов на a-C:H:SiOx покрытие, полученное методом плазмохимического осаждения с использованием импульсного биполярного смещения
Published: (2020)

Features of Multilayer Сoatings on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N System
Published: (2019)

Improvement of the Wear Resistance of Electroplated Au-Ni Coatings by Zr Ion Bombardment of Ni-B Sublayer
Published: (2015)