Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика

Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2011.— [С. 103-108]
Other Authors:	Сергеев В. П. Виктор Петрович, Федорищева М. В., Сунгатулин А. Р., Никалин А. Ю., Нейфельд В. В.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость.
Language:	Russian
Published:	2011
Series:	Математика и механика. Физика
Subjects:	магнетронное осаждение ионная бомбардировка покрытия нитриды кремний алюминий термостойкость фазовый состав термомеханические свойства атомно-силовая микроскопия рентгеноструктурный анализ термоциклическая стойкость труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=203202

Similar Items

Нанесение керамических покрытий с заданными физико-механическими свойствами методом электронно-лучевого испарения; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2017)

Увеличение термоциклической стойкости покрытий на основе Zr-Y-O, полученных методом магнетронного осаждения; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 2: Математика и механика. Физика
Published: (2010)

Влияние обработки ионами Ti+ поверхности медной подложки на адгезию и термоциклическую стойкость покрытий SI-AL-N; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 2
Published: (2013)

Влияние обработки ионами Ti+ поверхности медной подложки на адгезию и термоциклическую стойкость покрытий SI-AL-N; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 2
Published: (2013)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering; Chalcogenide Letters; Vol. 12, iss. 9
by: An V. V. Vladimir Vilorievich
Published: (2015)

Effect of Structure and Phase Composition on Thermocyclic Stability of Thermo-Barrier Coatings Zr-O Deposited by Microplasma Method on a Copper Substrate; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Published: (2018)

Электрический потенциал и топография поверхности кальций-фосфатного покрытия, полученного в плазме ВЧ-разряда; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 2
Published: (2020)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Published: (2016)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Published: (2013)

Влияние бомбардировки ионами N и Ar на морфологию поверхности, механические свойства и стойкость к окислению покрытий TI-AL-N; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2017)

Термомеханические свойства алюмосиликатных огнеупоров
by: Келер Э. К.
Published: (Ленинград, Металлургиздат, 1949)

Ч. 6: Механическое разрушение горных пород; Термомеханические методы разрушения горных пород
Published: (1972)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.4.4
by: Буслович А. О. Александра Олеговна
Published: (Томск, 2022)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.4.4
by: Буслович А. О. Александра Олеговна
Published: (Томск, 2022)

Ч. 2: Вопросы теории разрушения горных пород; Термомеханические методы разрушения горных пород
Published: (1972)

Ч. 4: Термическое огнеструйное разрушение горных пород; Термомеханические методы разрушения горных пород
Published: (1972)

Исследование реакции тромбоцитов на a-C:H:SiOx покрытие, полученное методом плазмохимического осаждения с использованием импульсного биполярного смещения; Бюллетень сибирской медицины; Т. 19, № 3
Published: (2020)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2022)

Получение адсорбента на основе гамма-оксида алюминия методом вакуумного распыления; Вестник Томского государственного университета. Химия; № 20
by: Хрусталева К. В. Ксения Виктровна
Published: (2020)

Наноструктурные стали учебное пособие
by: Панов Д. О.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2014)

Bioceramic Coatings for Metallic Implants; Handbook of Bioceramics and Biocomposites
Published: (2016)

Термомеханические процессы в кусочно-однородных элементах конструкций: сборник научных трудов
Published: (Киев, Наукова думка, 1978)

Ч. 3: Процессы и технические средства термомеханического разрушения горных пород; Термомеханические методы разрушения горных пород
Published: (1972)

Термомеханические соединения (ТМС) трубопроводов. Общие понятия и принципы подбора элементов; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
by: Хохлов В. А. Владимир Александрович
Published: (2009)

Modification of Ti-Al-N Coatings by High Energy (Cr{+}+B{+}) Ion Bombardment; AIP Conference Proceedings; Vol. 1783 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2016
Published: (2016)

Исследование структурно - механических свойств окатышей и их термостойкости согласно утвержденного заказ-наряда: Промежуточный отчет о НИР
Published: (Томск, 1980)

Исследование биоэлектрической совместимости тонких кальций-фосфатных покрытий, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика
Published: (2011)

Технические свойства полимерных материалов: учебно-справочное пособие
Published: (Москва, Профессия, 2003)

Технические свойства полимерных материалов: учебно-справочное пособие
Published: (СПб., Профессия, 2005)

Технические свойства полимерных материалов: учебно-справочное пособие
Published: (СПб., Профессия, 2007)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Осипова Е. С.
Published: (2023)

Effect of nitrogen content on structural and mechanical properties of AlTiZrTaHf(-N) high entropy films deposited by reactive magnetron sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 432
Published: (2022)

Физические основы термоциклической обработки стареющих сплавов
Published: (Минск, Навука i тэхнiка, 1992)

Features of Multilayer Сoatings on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N System; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Published: (2019)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)

Thermal Stability of TiZrAlN and TiZrSiN Films Formed by Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 9, iss. 3
Published: (2018)

Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Гаранин Ю. А.
Published: (2023)

Исследование деформационного рельефа в керамике ZrO[2](Y[2]O[3]) методами атомно-силовой микроскопии; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2019)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
by: Просолов К. А. Константин Александрович
Published: (2017)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Сурменева М. А. Мария Александровна
Published: (2009)