Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления

Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2011.— [С. 103-108]
Other Authors:	Сергеев В. П. Виктор Петрович, Федорищева М. В., Сунгатулин А. Р., Никалин А. Ю., Нейфельд В. В.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость.
Published:	2011
Series:	Математика и механика. Физика
Subjects:	магнетронное осаждение ионная бомбардировка покрытия нитриды кремний алюминий термостойкость фазовый состав термомеханические свойства атомно-силовая микроскопия рентгеноструктурный анализ термоциклическая стойкость труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=203202

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf