Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2011.— [С. 103-108] |
|---|---|
| Autres auteurs: | , , , , |
| Résumé: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость. |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2011
|
| Collection: | Математика и механика. Физика |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf |
| Format: | Électronique Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=203202 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 203202 | ||
| 005 | 20240206081422.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\221430 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\221429 | ||
| 090 | |a 203202 | ||
| 100 | |a 20111031d2011 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления |f В. П. Сергеев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (4.2 Мб) | ||
| 225 | 1 | |a Математика и механика. Физика | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 108 (8 назв.)] | ||
| 330 | |a Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\221233 |x 1684-8519 |t Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика |v [С. 103-108] |d 2011 |p 167 с. | |
| 610 | 1 | |a магнетронное осаждение | |
| 610 | 1 | |a ионная бомбардировка | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a нитриды | |
| 610 | 1 | |a кремний | |
| 610 | 1 | |a алюминий | |
| 610 | 1 | |a термостойкость | |
| 610 | 1 | |a фазовый состав | |
| 610 | 1 | |a термомеханические свойства | |
| 610 | 1 | |a атомно-силовая микроскопия | |
| 610 | 1 | |a рентгеноструктурный анализ | |
| 610 | 1 | |a термоциклическая стойкость | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Сергеев |b В. П. |c специалист в области материаловедения |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1949- |g Виктор Петрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25827 |9 11700 | |
| 701 | 1 | |a Федорищева |b М. В. | |
| 701 | 1 | |a Сунгатулин |b А. Р. | |
| 701 | 1 | |a Никалин |b А. Ю. | |
| 701 | 1 | |a Нейфельд |b В. В. | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211228 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf | |
| 942 | |c CF | ||