Cita APA

Сергеев В. П. Виктор Петрович, Федорищева М. В., Сунгатулин А. Р., Никалин А. Ю., & Нейфельд В. В. (2011). Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2: Математика и механика. Физика. 2011.

Citación estilo Chicago

Сергеев В. П. Виктор Петрович, Федорищева М. В., Сунгатулин А. Р., Никалин А. Ю., and Нейфельд В. В. Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2: Математика и механика. Физика. 2011, 2011.

Cita MLA

Сергеев В. П. Виктор Петрович, et al. Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2: Математика и механика. Физика. 2011, 2011.