|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
200491 |
| 005 |
20231031184718.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\218567
|
| 090 |
|
|
|a 200491
|
| 100 |
|
|
|a 20110908d1978 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Материаловедение в микроэлектронике
|f Л. С. Палатник, В. К. Сорокин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 280 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Электронное материаловедение
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 268-278.
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a атомное строение
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхность
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумное материаловедение
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a микроминиатюризация
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Палатник
|b Л. С.
|g Лев Самойлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Сорокин
|b В. К.
|g Вадим Константинович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110908
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150522
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
