Материаловедение в микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author:	Палатник Л. С. Лев Самойлович
Other Authors:	Сорокин В. К. Вадим Константинович
Published:	Москва, Энергия, 1978
Series:	Электронное материаловедение
Subjects:	микроэлектроника материалы твердые тела атомное строение поверхность вакуумное материаловедение пленочные материалы нанесение микроминиатюризация
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=200491

Similar Items