Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда

Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук: труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой.— , 2009.— 978-5-98298-544-6 Т. 1.— 2009.— С. 275-277
Main Author:	Шабунин А. С. Артём Сергеевич
Other Authors:	Юрьева А. В. (727)
Published:	2009
Subjects:	нанесение покрытия скорость зависимости магнетронный разряд плазма револьверные головки тонкие плёнки труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199757

Similar Items

Operation parameters of magnetron diode for high-rate deposition of aluminum films
by: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2018)

Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич
Published: (Томск, 2013)

Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич
Published: (Томск, 2013)

Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич
Published: (Томск, 2013)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Published: (2005)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Published: (2006)

Исследование биоэлектрической совместимости тонких кальций-фосфатных покрытий, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
Published: (2011)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Published: (2008)

Технология нанесения покрытий методические указания к лабораторным работам для студентов направления 11.04.04 «электроника и наноэлектроника» (профиль «материалы функциональной электроники») очной формы обучения
by: Калинин Ю. Е.
Published: (Воронеж, ВГТУ, 2024)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком
by: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Published: (2004)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2010)

Современные револьверные головки токарных станков с ЧПУ
by: Дыров Н.
Published: (2024)

Dynamics of pulsed magnetron discharge in high-current electron guns
Published: (2018)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий
Published: (2004)

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. III Республиканская научно-техническая конференция. Сборник статей
Published: (Казань, КНИТУ, 2012)

Синтез алмазных плёнок в плазме импульсного разряда
by: Кованцев А. С.
Published: (2011)

Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий
by: Белевский В. П. Владимир Петрович
Published: (Киев, о-во "Знание" УССР, 1982)

Достижения науки, техники и технологии для машиностроения дайджест отечественной и зарубежной печати и Интернет
Published: (Москва, ОАО "ВНИИТЭМР", 2004)

Технологические возможности магнетронного диода с испаряющейся мишенью
by: Третьяков Р. С.
Published: (2011)

Синтез алмазных пленок в плазме наносекундного импульсного разряда
by: Кованцев А. С.
Published: (2012)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Закономерности роста кальций-фосфатных покрытий, осажденных из плазмы ВЧ-магнетронного разряда
by: Иванова А. А. Анна Александровна
Published: (2012)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)

Исследование надежности токарно-револьверных станков по результатам эксплуатационных наблюдений
by: Степанов В. И.
Published: (2005)

Влияние влажности на свойства сенсоров диоксида азота на основе нанокристаллических тонких плёнок WO3 и SnO2
by: Рудов Ф. В.
Published: (2010)

Антифрикционные тонкоплёночные покрытия на основе дисульфида молибдена
by: Панфилов Ю. В.
Published: (2003)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Физика газового разряда
by: Райзер Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2009)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Нанесение покрытий в вакууме
Published: (Рига, Зинатне, 1986)

Физика высокочастотного емкостного разряда
by: Савинов В. П.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия
by: Вишникина В. В.
Published: (2012)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Настройка инструментов на металлорежущих станках
Published: (Киев, Технiка, 1983)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Published: (Омск, [Б. и.], 2003)

Установка для бесконтактного поиска скрытых дефектов в тонких диэлектрических пленках методом коронного разряда
by: Лавринович В. А. Валерий Александрович
Published: (2016)