Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук: труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой.— , 2009.— 978-5-98298-544-6 Т. 1.— 2009.— С. 275-277 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2009
|
| Matèries: | |
| Format: | Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199757 |