|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
199757 |
| 005 |
20231031184428.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\217795
|
| 090 |
|
|
|a 199757
|
| 100 |
|
|
|a 20110824d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда
|f А. С. Шабунин
|g науч. рук. А. В. Юрьева
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 3 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\209177
|y 978-5-98298-544-6
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|o труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г.
|o в 2 т.
|f Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой
|d 2009
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\208765
|y 978-5-98298-546-0
|t Т. 1
|v С. 275-277
|d 2009
|p 542 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a скорость
|
| 610 |
1 |
|
|a зависимости
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронный разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a револьверные головки
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Шабунин
|b А. С.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1987-
|g Артём Сергеевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\36799
|
| 702 |
|
1 |
|a Юрьева
|b А. В.
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110824
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160607
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
