Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Korporativní autor: | |
| Další autoři: | |
| Shrnutí: | Защита сост. 15.06.2011 г. |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Томск, 2011
|
| Témata: | |
| Médium: | Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=197939 |
| Fyzický popis: | 22 с. ил. |
|---|---|
| Shrnutí: | Защита сост. 15.06.2011 г. |