Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author: Филимонова Н. И. Нина Ивановна
Corporate Author: Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
Other Authors: Величко А. А. Александр Андреевич (научный руководитель)
Summary:Защита сост. 15.06.2011 г.
Language:Russian
Published: Томск, 2011
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=197939