Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике", автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author:	Филимонова Н. И. Нина Ивановна
Corporate Author:	Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
Other Authors:	Величко А. А. Александр Андреевич (727)
Summary:	Защита сост. 15.06.2011 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, 2011
Subjects:	полупроводник на диэлектрике гетероструктуры молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксильные системы слои кремний на изоляторе подложки монослои авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=197939

Similar Items