|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
197353 |
| 005 |
20240222104138.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\215259
|
| 090 |
|
|
|a 197353
|
| 100 |
|
|
|a 20110609d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
|f А. Г. Горюнов [и др.]
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 4 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\208714
|t Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
|o сборник трудов юбилейной научно-технической конференции, посвященной 100-летию со дня рождения основателя физико-технического факультета и кафедры ЭАФУ, первого декана В. Н. Титова, а также 55-летию кафедры ЭАФУ ФТФ, 29-30 июня 2009 г., Томск
|f Томский политехнический университет (ТПУ)
|v С. 65-69
|d 2009
|p 109 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотный ток
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a установки
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Горюнов
|b А. Г.
|c специалист в области автоматического управления
|c заведующий кафедрой Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1979-
|g Алексей Германович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25726
|9 11628
|
| 701 |
|
1 |
|a Дядик
|b В. Ф.
|c российский ученый, специалист в области автоматизации технологических процессов
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1939-
|g Валерий Феодосиевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25485
|
| 701 |
|
1 |
|a Козин
|b К. А.
|c специалист в области автоматики и электроники
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1980-
|g Кирилл Андреевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25934
|9 11784
|
| 701 |
|
1 |
|a Ливенцов
|b С. Н.
|c специалист в области автоматического управления
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1955-
|g Сергей Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25467
|9 11406
|
| 701 |
|
1 |
|a Сачков
|b С. А.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110609
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
