Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании

Bibliographic Details
Parent link:	Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании.— 2009.— С. 65-69
Other Authors:	Горюнов А. Г. Алексей Германович, Дядик В. Ф. Валерий Феодосиевич, Козин К. А. Кирилл Андреевич, Ливенцов С. Н. Сергей Николаевич, Сачков С. А.
Language:	Russian
Published:	2009
Subjects:	высокочастотный ток поликристаллический кремний установки производство труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=197353

Similar Items