Современные методы проектирования ёмкостных микроэлектромеханических систем

Bibliographic Details
Parent link:Электромеханические преобразователи энергии: материалы IV Международной научно-технической конференции, 13-16 октября 2009 г., Томск/ Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ) ; Томская область, Администрация ; Томский политехнический университет. С. 150-153.— , 2009
Main Author: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Language:Russian
Published: 2009
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=196320

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 196320
005 20240122153409.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\214168 
090 |a 196320 
100 |a 20110523d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Современные методы проектирования ёмкостных микроэлектромеханических систем   |f Д. Ю. Ляпунов 
320 |a Библиогр.: 2 назв. 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\208678  |t Электромеханические преобразователи энергии  |o материалы IV Международной научно-технической конференции, 13-16 октября 2009 г., Томск  |f Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ) ; Томская область, Администрация ; Томский политехнический университет   |v С. 150-153  |d 2009  |p 556 с. 
610 1 |a проектирование 
610 1 |a методы 
610 1 |a электромеханические системы 
610 1 |a микроэлектромеханические системы 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Ляпунов  |b Д. Ю.  |c специалист в области электротехники  |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1982-  |g Данил Юрьевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26526  |9 12220 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20110523 
942 |c BK