Современные методы проектирования ёмкостных микроэлектромеханических систем
| Parent link: | Электромеханические преобразователи энергии.— 2009.— С. 150-153 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=196320 |