Современные методы проектирования ёмкостных микроэлектромеханических систем
| Parent link: | Электромеханические преобразователи энергии: материалы IV Международной научно-технической конференции, 13-16 октября 2009 г., Томск/ Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ) ; Томская область, Администрация ; Томский политехнический университет. С. 150-153.— , 2009 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=196320 |