Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур «полупроводник на диэлектрике», автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск, 2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2011/23.pdf |
| Format: | Electronic Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=195600 |