Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы

Бібліографічні деталі
Parent link:	Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 2.— , 1990.— 5-03-001372-5
Мова:	Російська
Опубліковано:	1990
Предмети:	микролитография микроэлектроника полупроводниковые материалы обработка экспонирование задубливание травление безрезистные технологии резисты удаление литография литографические процессы
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194997

Схожі ресурси

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Опубліковано: (1990)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Опубліковано: (Москва, Наука, 1987)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
за авторством: Юрчук С. Ю.
Опубліковано: (Москва, МИСИС, 2013)

Светочувствительные полимерные материалы
Опубліковано: (Ленинград, Химия, 1985)

Физика субмикронной литографии
за авторством: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Опубліковано: (Москва, Наука, 1990)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
за авторством: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Опубліковано: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Опубліковано: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
за авторством: Королев М. А. Михаил Александрович
Опубліковано: (2009)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: учебник
за авторством: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1987)

Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов учебное пособие
за авторством: Одиноков С. Б.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Опубліковано: (2007)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
за авторством: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1984)

Проблемы микроэлектронной технологии
Опубліковано: (Москва, Наука, 1992)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Опубліковано: (2011)

Советская литография 1920-х годов в собрании Государственного музея изобразительных искусств имени А. С. Пушкина: каталог выставки
Опубліковано: (Москва, Советский художник, 1986)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
за авторством: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Опубліковано: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Моделирование технологических процессов микроэлектроники
Опубліковано: (Москва, Наука, 1992)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
за авторством: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Опубліковано: (Минск, Наука и техника, 1983)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
за авторством: Родионов Ю. А.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
за авторством: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1983)

Виды Томска и его окрестностей: каталог-альбом литографий
за авторством: Колосов М.
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТГУ, 2015)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
за авторством: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Опубліковано: (Москва, Высшая школа, 1987)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
за авторством: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Опубліковано: (Москва, Академия, 2008)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций
за авторством: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубліковано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
за авторством: Сергеев В. А.
Опубліковано: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
за авторством: Рыбин Н. Б.
Опубліковано: (Рязань, РГРТУ, 2023)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
за авторством: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Опубліковано: (Киев, Вища школа, 1983)

Проблемы электронного материаловедения
Опубліковано: (Новосибирск, Наука, 1986)

Методы получения твердых тел и исследования их структуры; Физика твердого тела
Опубліковано: (2001)

Методы повышения параметров БИС
за авторством: Деркач В. П. Виталий Павлович
Опубліковано: (Киев, Вища школа, 1986)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы: учебник для бакалавриата и магистратуры
Опубліковано: (Москва, Юрайт, 2016)

Современные средства информационных технологий: учебное пособие
за авторством: Карпенков С. Х. Степан Харланович
Опубліковано: (Москва, КноРус, 2015)

LIGA-технология; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
за авторством: Родионова Е. А.
Опубліковано: (2009)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
за авторством: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Опубліковано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Микроэлектроника: научный журнал
Опубліковано: (Москва, Наука, 1973-)

Теория теней, блестящих точек и световых ребер: [учебное пособие]
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Литография Яздовского, 1885)

Виды Томска: каталог-альбом литографий
за авторством: Флек Ю. В. Юрий Волькмар
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТГУ, 2015)

Рецептурный справочник для электротехника
за авторством: Шкержик Я.
Опубліковано: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Рецептурный справочник для электротехника
за авторством: Шкержик Я.
Опубліковано: (Москва, Энергия, 1978)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
за авторством: Мокеев О. К. Олег Константинович
Опубліковано: (Москва, Высшая школа, 1979)