Ч. 2

Ч. 2

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 2.— , 1990.— 5-03-001372-5
Publicado em:	1990
Assuntos:	микролитография микроэлектроника полупроводниковые материалы обработка экспонирование задубливание травление безрезистные технологии резисты удаление литография литографические процессы
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194997

Registros relacionados

Проблемы литографии в микроэлектронике
Publicado em: (Москва, Наука, 1987)

Ч. 1
Publicado em: (1990)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
por: Юрчук С. Ю.
Publicado em: (Москва, МИСИС, 2013)

Физика субмикронной литографии
por: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publicado em: (Москва, Наука, 1990)

Технологии электронной компонентной базы учебное пособие
por: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Publicado em: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Светочувствительные полимерные материалы
Publicado em: (Ленинград, Химия, 1985)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров учебник
por: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Publicado em: (Москва, Радио и связь, 1987)

Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов учебное пособие
por: Одиноков С. Б.
Publicado em: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Publicado em: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
por: Королев М. А. Михаил Александрович
Publicado em: (2009)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Publicado em: (2007)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
por: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publicado em: (Москва, Радио и связь, 1984)

Т. 2: Технологические аспекты
Publicado em: (2011)

Советская литография 1920-х годов в собрании Государственного музея изобразительных искусств имени А. С. Пушкина каталог выставки
Publicado em: (Москва, Советский художник, 1986)

Современные технологии в микроэлектронике электронный курс
por: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicado em: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
por: Родионов Ю. А.
Publicado em: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Физико-химические процессы в технологии РЭА учебник для вузов
por: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1987)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
por: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publicado em: (Москва, Радио и связь, 1983)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
por: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Publicado em: (Минск, Наука и техника, 1983)

Виды Томска и его окрестностей каталог-альбом литографий
por: Колосов М.
Publicado em: (Томск, Изд-во ТГУ, 2015)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии курс лекций
por: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Publicado em: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Физические основы микроэлектроники учебник для вузов
por: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Publicado em: (Москва, Академия, 2008)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
por: Сергеев В. А.
Publicado em: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Микроэлектроника научный журнал
Publicado em: (Москва, Наука, 1973-)

LIGA-технология
por: Родионова Е. А.
Publicado em: (2009)

Проблемы электронного материаловедения
Publicado em: (Новосибирск, Наука, 1986)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
por: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Publicado em: (Киев, Вища школа, 1983)

Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
por: Рыбин Н. Б.
Publicado em: (Рязань, РГРТУ, 2023)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов
por: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Publicado em: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Современные средства информационных технологий учебное пособие
por: Карпенков С. Х. Степан Харланович
Publicado em: (Москва, КноРус, 2015)

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
por: Архипов А. В.
Publicado em: (Самара, Самарский университет, 2022)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для бакалавриата и магистратуры
Publicado em: (Москва, Юрайт, 2016)

Методы повышения параметров БИС
por: Деркач В. П. Виталий Павлович
Publicado em: (Киев, Вища школа, 1986)

Самоформирование в полупроводниковой технологии
por: Янушонис С. Стяпас Стяпонович
Publicado em: (Вильнюс, Мокслас, 1985)

Теория теней, блестящих точек и световых ребер [учебное пособие]
Publicado em: (Санкт-Петербург, Литография Яздовского, 1885)

Рецептурный справочник для электротехника
por: Шкержик Я.
Publicado em: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Рецептурный справочник для электротехника
por: Шкержик Я.
Publicado em: (Москва, Энергия, 1978)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
por: Юрчук С. Ю.
Publicado em: (Москва, МИСИС, 2013)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем учебное пособие
por: Мокеев О. К. Олег Константинович
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1979)

Виды Томска каталог-альбом литографий
por: Флек Ю. В. Юрий Волькмар
Publicado em: (Томск, Изд-во ТГУ, 2015)