Ч. 2

Bibliographic Details
Parent link:	Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 2.— , 1990.— 5-03-001372-5
Published:	1990
Subjects:	микролитография микроэлектроника полупроводниковые материалы обработка экспонирование задубливание травление безрезистные технологии резисты удаление литография литографические процессы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194997

Similar Items