Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:	Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 2.— , 1990.— 5-03-001372-5
اللغة:	الروسية
منشور في:	1990
الموضوعات:	микролитография микроэлектроника полупроводниковые материалы обработка экспонирование задубливание травление безрезистные технологии резисты удаление литография литографические процессы
التنسيق:	MixedMaterials كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194997

مواد مشابهة