|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
194997 |
| 005 |
20231031182554.0 |
| 010 |
|
|
|a 5030013725
|
| 010 |
|
|
|a 5-03-001717-8
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 90-68072
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\212677
|
| 090 |
|
|
|a 194997
|
| 100 |
|
|
|a 20110428g1990 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 200 |
0 |
|
|a Ч. 2
|
| 210 |
|
|
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 1239 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав.
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 1227-1235.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\163651
|y 5-03-001372-5
|t Микролитография: принципы, методы, материалы
|o в 2 ч: пер. с англ.
|f У. Моро
|v Ч. 2
|d 1990
|
| 610 |
1 |
|
|a микролитография
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a экспонирование
|
| 610 |
1 |
|
|a задубливание
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a безрезистные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a резисты
|
| 610 |
1 |
|
|a удаление
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a литографические процессы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.75
|z rus
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110428
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110903
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
