Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения
| Parent link: | Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009: всероссийская конференция с элементами научной школы для молодежи, Томск, 8-11 сентября 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ). С. 148-152.— , 2009 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194776 |