Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Стерлинг Х.
Weitere Verfasser:	Сванн Р.
Zusammenfassung:	Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
Schriftenreihe:	Переводы иностранной литературы Технология и организация производства
Schlagworte:	Осаждение из газовой фазы > Химическая технология физическая химия химическое осаждение газовые фазы ВЧ разряды кремний кремний-водород получение
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224

Ähnliche Einträge

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
von: Васильев В. Ю.
Veröffentlicht: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Veröffentlicht: (Москва, Атомиздат, 1970)

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
von: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Veröffentlicht: (Москва, Техносфера, 2006)

Теория и практика выращивания кристаллов: пер. с англ.; [сборник статей]
Veröffentlicht: (Москва, Металлургия, 1968)

Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов: сборник статей
Veröffentlicht: (Ленинград, ГИПХ, 1976)

Газофазный рост монокристаллов алмаза в плазме аномального тлеющего разряда; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Митулинский А. С. Александр Сергеевич
Veröffentlicht: (2021)

Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика
von: Линник С. А. Степан Андреевич
Veröffentlicht: (2011)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
von: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Veröffentlicht: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2013)

Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Иванова Е. С.
Veröffentlicht: (2013)

Гетерогенная кристаллизация из газовой фазы. Вопросы кинетики и численное моделирование: [монография]
von: Федосеев Д. В. Дмитрий Валерианович
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1978)

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
von: Витязь П. А. Петр Александрович
Veröffentlicht: (Минск, Наука и техника, 1983)

The study of the process of alkaline precipitation purification of solutions from silicon macroscales in the ammonium-fluoride processing of beryllium-containing materials; MATEC Web of Conferences; Vol. 85 : Chemistry and Chemical Technology in XXI Century (CCT 2016)
Veröffentlicht: (2016)

Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
von: Букатин А. С.
Veröffentlicht: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Осаждение и турбулентный перенос дисперсных частиц в жидкой фазе; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
von: Капин Н. А.
Veröffentlicht: (2018)

Plasma chemistry IV
Veröffentlicht: (Berlin, Springer-Verlag, 1983)

Газофазная металлургия тугоплавких соединений
von: Емяшев А. В. Александр Васильевич
Veröffentlicht: (Москва, Металлургия, 1987)

Тугоплавкие покрытия
von: Самсонов Г. В. Григорий Валентинович
Veröffentlicht: (Москва, Металлургия, 1973)

Получение сокристаллов активных фармацевтических ингредиентов методом осаждения из паровой фазы; Химия и химическая технология в XXI веке
von: Наумкина Е.
Veröffentlicht: (2020)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
von: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Veröffentlicht: (2010)

Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
von: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Veröffentlicht: (Омск, 2003)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Гренадёров А. С.
Veröffentlicht: (2018)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
von: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Veröffentlicht: (Омск, [Б. и.], 2003)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
von: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Veröffentlicht: (Омск, [Б. и.], 2003)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Veröffentlicht: (2013)

Model of the Initial Stage of Bioactive Coating Deposition; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
von: Nazarenko N. N.
Veröffentlicht: (2018)

Исследование поведения дисперсной фазы высоких концентраций в поле коронного разряда: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
von: Цатурян А. И.
Veröffentlicht: (Томск, 1969)

Редкие металлы и сплавы с моно-кристаллической структурой: [сборник статей]
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1981)

Установка для получения поликристаллического кремния
Veröffentlicht: ()

The Grain Boundary Diffusion of Silicon in Nickel Titanium under External Energy Deposition Alexey; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Veröffentlicht: (2018)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Veröffentlicht: ()

Введение в микросистемную технику
von: Нарайкин О. С.
Veröffentlicht: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Получение осадка с высоким содержанием диоксида кремния из раствора гексафторосиликата аммония; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 11
Veröffentlicht: (2010)

Исследование микроструктуры и свойств поликристаллических алмазных покрытий, синтезированных методом HFCVD при высоких концентрациях метана; Журнал технической физики; Т. 93, вып. 6
Veröffentlicht: (2023)

Электролитическое осаждение металлов подгруппы железа
von: Левинзон А. М. Александр Мотьевич
Veröffentlicht: (Ленинград, Машиностроение, 1983)

Ч. 1; Химия кремнезема; Растворимость, полимеризация, коллоидные и поверхностные свойства, биохимия
Veröffentlicht: (1982)

Вольфрам-рениевые покрытия
von: Лахоткин Ю В. Юрий Викторович
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1989)

Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1981)

Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2014)

Оборудование гидролизных и микробиологических производств. Разделение жидких неоднородных систем и расчет отстойника непрерывного действия учебное пособие по курсовому проектированию
von: Елкин В. А.
Veröffentlicht: (Санкт-Петербург, СПбГЛТУ, 2015)