Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269

Bibliographic Details
Main Author:	Стерлинг Х.
Other Authors:	Сванн Р.
Summary:	Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.
Language:	Russian
Published:	Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
Series:	Переводы иностранной литературы Технология и организация производства
Subjects:	Осаждение из газовой фазы > Химическая технология физическая химия химическое осаждение газовые фазы ВЧ разряды кремний кремний-водород получение
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224

Similar Items

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
by: Васильев В. Ю.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Published: (Москва, Атомиздат, 1970)

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Техносфера, 2006)

Теория и практика выращивания кристаллов: пер. с англ.; [сборник статей]
Published: (Москва, Металлургия, 1968)

Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов: сборник статей
Published: (Ленинград, ГИПХ, 1976)

Газофазный рост монокристаллов алмаза в плазме аномального тлеющего разряда; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Митулинский А. С. Александр Сергеевич
Published: (2021)

Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика
by: Линник С. А. Степан Андреевич
Published: (2011)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
by: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Published: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
by: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Published: (2013)

Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Иванова Е. С.
Published: (2013)

Гетерогенная кристаллизация из газовой фазы. Вопросы кинетики и численное моделирование: [монография]
by: Федосеев Д. В. Дмитрий Валерианович
Published: (Москва, Наука, 1978)

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
by: Витязь П. А. Петр Александрович
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)

The study of the process of alkaline precipitation purification of solutions from silicon macroscales in the ammonium-fluoride processing of beryllium-containing materials; MATEC Web of Conferences; Vol. 85 : Chemistry and Chemical Technology in XXI Century (CCT 2016)
Published: (2016)

Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
by: Букатин А. С.
Published: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Осаждение и турбулентный перенос дисперсных частиц в жидкой фазе; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
by: Капин Н. А.
Published: (2018)

Plasma chemistry IV
Published: (Berlin, Springer-Verlag, 1983)

Тугоплавкие покрытия
by: Самсонов Г. В. Григорий Валентинович
Published: (Москва, Металлургия, 1973)

Газофазная металлургия тугоплавких соединений
by: Емяшев А. В. Александр Васильевич
Published: (Москва, Металлургия, 1987)

Получение сокристаллов активных фармацевтических ингредиентов методом осаждения из паровой фазы; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Наумкина Е.
Published: (2020)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
by: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Published: (Омск, 2003)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Гренадёров А. С.
Published: (2018)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
by: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Published: (Омск, [Б. и.], 2003)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Published: (Омск, [Б. и.], 2003)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Published: (2013)

Model of the Initial Stage of Bioactive Coating Deposition; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
by: Nazarenko N. N.
Published: (2018)

Установка для получения поликристаллического кремния
Published: ()

Исследование поведения дисперсной фазы высоких концентраций в поле коронного разряда: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Цатурян А. И.
Published: (Томск, 1969)

Редкие металлы и сплавы с моно-кристаллической структурой: [сборник статей]
Published: (Москва, Наука, 1981)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

The Grain Boundary Diffusion of Silicon in Nickel Titanium under External Energy Deposition Alexey; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Published: (2018)

Введение в микросистемную технику
by: Нарайкин О. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Получение осадка с высоким содержанием диоксида кремния из раствора гексафторосиликата аммония; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 11
Published: (2010)

Исследование микроструктуры и свойств поликристаллических алмазных покрытий, синтезированных методом HFCVD при высоких концентрациях метана; Журнал технической физики; Т. 93, вып. 6
Published: (2023)

Электролитическое осаждение металлов подгруппы железа
by: Левинзон А. М. Александр Мотьевич
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1983)

Ч. 1; Химия кремнезема; Растворимость, полимеризация, коллоидные и поверхностные свойства, биохимия
Published: (1982)

Вольфрам-рениевые покрытия
by: Лахоткин Ю В. Юрий Викторович
Published: (Москва, Наука, 1989)

Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
Published: (Москва, Наука, 1981)

Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
by: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Published: (2014)

Оборудование гидролизных и микробиологических производств. Разделение жидких неоднородных систем и расчет отстойника непрерывного действия учебное пособие по курсовому проектированию
by: Елкин В. А.
Published: (Санкт-Петербург, СПбГЛТУ, 2015)