Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Стерлинг Х.
Outros Autores:	Сванн Р.
Resumo:	Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.
Idioma:	russo
Publicado em:	Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
coleção:	Переводы иностранной литературы Технология и организация производства
Assuntos:	Осаждение из газовой фазы > Химическая технология физическая химия химическое осаждение газовые фазы ВЧ разряды кремний кремний-водород получение
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224

Registros relacionados