• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Advanced
  • Химическое осаждение из газово...
  • Cite this
  • Text this
  • Email this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом перевод № 18/ЭТ-1269

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом, перевод № 18/ЭТ-1269

Bibliographic Details
Main Author: Стерлинг Х.
Other Authors: Сванн Р.
Summary:Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.
Published: Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
Series:Переводы иностранной литературы
Технология и организация производства
Subjects:
физическая химия
химическое осаждение
газовые фазы
ВЧ разряды
кремний
кремний-водород
получение
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View

Similar Items

  • Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
    by: Васильев В. Ю.
    Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)
  • Осаждение из газовой фазы сокр. пер. с англ.
    Published: (Москва, Атомиздат, 1970)
  • Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
    by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
    Published: (Москва, Техносфера, 2006)
  • Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов сборник статей
    Published: (Ленинград, ГИПХ, 1976)
  • Теория и практика выращивания кристаллов пер. с англ. [сборник статей]
    Published: (Москва, Металлургия, 1968)