Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом, перевод № 18/ЭТ-1269
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965. |
| Pubblicazione: |
Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
|
| Serie: | Переводы иностранной литературы Технология и организация производства |
| Soggetti: | |
| Natura: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224 |