Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом, перевод № 18/ЭТ-1269
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965. |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
|
| Series: | Переводы иностранной литературы Технология и организация производства |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224 |