|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
192224 |
| 005 |
20231101224414.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\209609
|
| 090 |
|
|
|a 192224
|
| 100 |
|
|
|a 20110221d1967 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом
|e перевод № 18/ЭТ-1269
|f Х. Стерлинг, Р. Сванн
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во ЦНИИТЭиНИ
|d 1967
|
| 215 |
|
|
|a 8 с.
|
| 225 |
1 |
|
|a Переводы иностранной литературы
|
| 225 |
1 |
|
|a Технология и организация производства
|
| 300 |
|
|
|a Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 8.
|
| 606 |
1 |
|
|a Осаждение из газовой фазы
|x Химическая технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\31604
|9 54416
|
| 610 |
1 |
|
|a физическая химия
|
| 610 |
1 |
|
|a химическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a ВЧ разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний-водород
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 675 |
|
|
|a 66.065
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Стерлинг
|b Х.
|
| 701 |
|
1 |
|a Сванн
|b Р.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110221
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220822
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
