Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом перевод № 18/ЭТ-1269

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом, перевод № 18/ЭТ-1269

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur: Стерлинг Х.
Awduron Eraill: Сванн Р.
Crynodeb:Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.
Cyhoeddwyd: Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
Cyfres:Переводы иностранной литературы
Технология и организация производства
Pynciau:
физическая химия
химическое осаждение
газовые фазы
ВЧ разряды
кремний
кремний-водород
получение
Fformat: Llyfr
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224
Disgrifiad
Disgrifiad Corfforoll:8 с.
Crynodeb:Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.

Eitemau Tebyg