Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269

Bibliographic Details
Main Author:	Стерлинг Х.
Other Authors:	Сванн Р.
Summary:	Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.
Language:	Russian
Published:	Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
Series:	Переводы иностранной литературы Технология и организация производства
Subjects:	Осаждение из газовой фазы > Химическая технология физическая химия химическое осаждение газовые фазы ВЧ разряды кремний кремний-водород получение
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224

Description
Physical Description:	8 с.
Summary:	Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965.

Similar Items