Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269
| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | |
| Resumo: | Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965. |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967
|
| Colecção: | Переводы иностранной литературы Технология и организация производства |
| Assuntos: | |
| Formato: | Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192224 |
| Descrição Física: | 8 с. |
|---|---|
| Resumo: | Источник: Solid-State Electronics, V. 8, № 8 pp. 653-654, 1965. |