Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых: сборник докладов I Университетской конференции студентов элитного технического образования, 19-20 апреля 2010 г. г. Томск/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). С. 115-118.— , 2010
Autor principal:	Лязгин А. О.
Altres autors:	Козельская А. И. Анна Ивановна (727), Панин А. В.
Publicat:	2010
Matèries:	тонкие плёнки термический отжиг промежуточные слои деградация медь подложки магнетронные напыления труды учёных ТПУ
Format:	Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=190283

Ítems similars

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
per: Лязгин А. О.
Publicat: (2009)

Деградация плёнок Cu/полиимид в процессе термического отжига
per: Лязгин А. О.
Publicat: (2010)

Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы
per: Ажгихин М. И.
Publicat: (2015)

Особенности термического поведения поверхности подложки при газотермическом напылении покрытий
per: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Publicat: (2011)

Thin RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite-based coating for permanent and biodegradable alloys
Publicat: (2015)

Formation and Characterization of Crystalline Hydroxyapatite Coating with the (002) Texture
Publicat: (2016)

Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties
Publicat: (2014)

Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме
Publicat: (2012)

Фазовые превращения в наноструктурных покрытиях на основе Zr-Y-O сформированных методом магнетронного напыления
per: Бардова А. Е.
Publicat: (2015)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
per: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Publicat: (2010)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления
per: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Publicat: (2013)

Исследование структурно-фазового состояния и оптических свойств покрытий Al-Si-N
per: Божко И. А. Ирина Александровна
Publicat: (2015)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions
Publicat: (2015)

Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target
Publicat: (2017)

Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления
per: Першукова А. Г.
Publicat: (2016)

Влияние нанокомпозитных покрытий 12Х18Н10Т на триботехнические свойства металлополимерной пары трения "Сталь 38ХН3МФА - полиамид ПА-66"
Publicat: (2006)

Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления
per: Бардова А. Е.
Publicat: (2015)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb
Publicat: (2015)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней
per: Гирш А. В.
Publicat: (2017)

Antibacterial PLGA and PCL membranes, modified by magnetron sputtering method of copper target
per: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Publicat: (2021)

Формирование поверхностных слоёв на основе пористого кремния, выполняющих роль контейнерных материалов для лекарственных средств
per: Лучин А. В.
Publicat: (2022)

Investigation of the Structural-Phase State and the Impact-Protective Properties of Optically Transparent Si-Al-N Coatings
Publicat: (2015)

Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления
per: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Publicat: (2014)

Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N
per: Пузанова К. С.
Publicat: (2014)

Investigation of the Microstructure and Mechanical Properties of Si-Al-N Transparent Coatings
Publicat: (2016)

Активация атомов подложки при взаимодействии напыленных частиц с основой в газотермическом покрытии
per: Храпковская Ю. А.
Publicat: ()

Evolution of the Grain Structure in the Layer of Zr-Y-O in Multilayer Coating on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N at a High Temperature in the "In-Situ" Observation
Publicat: (2018)

Исследование структурно-фазового состояния и механических свойств керамических покрытий на основе Si-Al-N
per: Пузанова К. С.
Publicat: (2014)

Magnetron deposition of TCO films using ion beam
per: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Publicat: (2015)

Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления
per: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Publicat: (2020)

Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане BT1-0
Publicat: (2019)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку
Publicat: (2013)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
per: Пархоменко Ю. Н.
Publicat: (Москва, МИСИС, 2017)

Development and Study of the Properties of Impact-Resistant Ceramic Nanocomposite Coatings for Silicon
Publicat: (2020)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings
Publicat: (2022)

Protective Cr coatings with CrN/Cr multilayers for zirconium fuel claddings
Publicat: (2022)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
per: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Publicat: (Москва, Энергия, 1979)

High-temperature oxidation of Cr-coated laser beam welds made from E110 zirconium alloy
Publicat: (2022)

Испарение капель воды на медных подложках
per: Батищева К. А. Ксения Артуровна
Publicat: (2015)

Адгезионные и механические свойства биосовместимых оксинитридных покрытий
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2021)