Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых

Библиографические подробности
Источник:	Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых.— 2010.— С. 115-118
Главный автор:	Лязгин А. О.
Другие авторы:	Козельская А. И. Анна Ивановна (научный руководитель), Панин А. В.
Язык:	русский
Опубликовано:	2010
Предметы:	тонкие плёнки термический отжиг промежуточные слои деградация медь подложки магнетронные напыления труды учёных ТПУ
Формат:	Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=190283

Схожие документы

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Лязгин А. О.
Опубликовано: (2009)

Деградация плёнок Cu/полиимид в процессе термического отжига; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Лязгин А. О.
Опубликовано: (2010)

Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
по: Ажгихин М. И.
Опубликовано: (2015)

Особенности термического поведения поверхности подложки при газотермическом напылении покрытий; Современные проблемы машиностроения
по: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Опубликовано: (2011)

Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
Опубликовано: (2014)

Thin RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite-based coating for permanent and biodegradable alloys; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Опубликовано: (2015)

Formation and Characterization of Crystalline Hydroxyapatite Coating with the (002) Texture; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science
Опубликовано: (2016)

Фазовые превращения в наноструктурных покрытиях на основе Zr-Y-O сформированных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Бардова А. Е.
Опубликовано: (2015)

Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме; Химическая физика и мезоскопия; Т. 14, № 4
Опубликовано: (2012)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1
по: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Опубликовано: (2010)

Влияние нанокомпозитных покрытий 12Х18Н10Т на триботехнические свойства металлополимерной пары трения "Сталь 38ХН3МФА - полиамид ПА-66"; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 3
Опубликовано: (2006)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Опубликовано: (2013)

Исследование структурно-фазового состояния и оптических свойств покрытий Al-Si-N; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
по: Божко И. А. Ирина Александровна
Опубликовано: (2015)

Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Першукова А. Г.
Опубликовано: (2016)

Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141
Опубликовано: (2017)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Опубликовано: (2015)

Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
по: Бардова А. Е.
Опубликовано: (2015)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Опубликовано: (2015)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней; Современные технологии и материалы новых поколений
по: Гирш А. В.
Опубликовано: (2017)

Antibacterial PLGA and PCL membranes, modified by magnetron sputtering method of copper target; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 1093 : Advanced Materials for Engineering and Functional Purposes (AMEFP 2020)
по: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Опубликовано: (2021)

Формирование поверхностных слоёв на основе пористого кремния, выполняющих роль контейнерных материалов для лекарственных средств; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
по: Лучин А. В.
Опубликовано: (2022)

Investigation of the Structural-Phase State and the Impact-Protective Properties of Optically Transparent Si-Al-N Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
Опубликовано: (2015)

Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Пузанова К. С.
Опубликовано: (2014)

Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
по: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Опубликовано: (2014)

Investigation of the Microstructure and Mechanical Properties of Si-Al-N Transparent Coatings; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
Опубликовано: (2016)

Активация атомов подложки при взаимодействии напыленных частиц с основой в газотермическом покрытии; Современные техника и технологии; Т. 1
по: Храпковская Ю. А.
Опубликовано: ()

Evolution of the Grain Structure in the Layer of Zr-Y-O in Multilayer Coating on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N at a High Temperature in the "In-Situ" Observation; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Опубликовано: (2018)

Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления; Химия и химическая технология в XXI веке
по: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Опубликовано: (2020)

Magnetron deposition of TCO films using ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
по: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Опубликовано: (2015)

Исследование структурно-фазового состояния и механических свойств керамических покрытий на основе Si-Al-N; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
по: Пузанова К. С.
Опубликовано: (2014)

Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане BT1-0; Журнал технической физики; Т. 89, № 4
Опубликовано: (2019)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
по: Пархоменко Ю. Н.
Опубликовано: (Москва, МИСИС, 2017)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Опубликовано: (2013)

Т. 1; Технология тонких пленок
Опубликовано: (1977)

Development and Study of the Properties of Impact-Resistant Ceramic Nanocomposite Coatings for Silicon; Glass and Ceramics; Vol. 77, iss. 3-4
Опубликовано: (2020)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
по: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1979)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings; Vacuum; Vol. 200
Опубликовано: (2022)

Protective Cr coatings with CrN/Cr multilayers for zirconium fuel claddings; Surface and Coatings Technology; Vol. 433
Опубликовано: (2022)

High-temperature oxidation of Cr-coated laser beam welds made from E110 zirconium alloy; Corrosion Science; Vol. 195
Опубликовано: (2022)

Адгезионные и механические свойства биосовместимых оксинитридных покрытий; Материаловедение; № 6
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2021)