Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига
| Parent link: | Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых: сборник докладов I Университетской конференции студентов элитного технического образования, 19-20 апреля 2010 г. г. Томск/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). С. 115-118.— , 2010 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=190283 |