Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых

Bibliographic Details
Parent link:Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых.— 2010.— С. 115-118
Main Author: Лязгин А. О.
Other Authors: Козельская А. И. Анна Ивановна (научный руководитель), Панин А. В.
Language:Russian
Published: 2010
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=190283