Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых

Схожие документы

• Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
  по: Лязгин А. О.
  Опубликовано: (2009)
• Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
  по: Ажгихин М. И.
  Опубликовано: (2015)
• Деградация плёнок Cu/полиимид в процессе термического отжига; Современные техника и технологии; Т. 2
  по: Лязгин А. О.
  Опубликовано: (2010)
• Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
  Опубликовано: (2014)
• Thin RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite-based coating for permanent and biodegradable alloys; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
  Опубликовано: (2015)